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　株式会社安川電機（取締役社長　利島　康司）は、半導体装置向けにナノ（10億分の１）メートルレベルの超精密位置決めと、滑らかで正確な移動を可能とする超精密ＸＹエアステージを開発し、2005年３月21日から販売を開始します。

「超精密ＸＹエアステージ」

　半導体業界では、デザインルール（半導体チップ上の配線間の距離）の微細化により、製造装置内に搭載される位置決め装置への高精度化が求められています。この高精度化は停止位置精度だけでなく、移動中の安定した速度・軌跡精度確保においても求められています。

　当社の超精密ＸＹエアステージは、メカ系にエアベアリングを採用し、非接触のステージ機構とすることでクリーン対応力の大幅な向上やメンテナンスフリーを実現しています。またエアベアリング内のエア層を均一に保つよう工夫したことや、駆動系に当社の得意とするリニアモータ技術を駆使した結果、滑らかな走りと安定した直進性を実現、さらに位置検出器をステージ側に配置したことにより、駆動系からステージまでのメカ的な誤差を排除し、高い位置再現性を可能にしています。
　安定した走行性能を求められる光学系の検査装置や、高い位置決め精度を求められる露光装置等に適したステージとなっています。