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安川ブルックスオートメーション株式会社の営業開始について

お知らせ2006年10月11日

株式会社安川電機(本社:北九州市、取締役社長:利島 康司、以下安川電機)と米国のBrooks Automation, Inc.(本社:マサチューセッツ州ケルムスフォード、代表者:President & C.E.O Edward C. Grady(エドワードC. グレイディ)、以下ブルックス社)は、半導体搬送ロボット関連事業における提携に関して合意し、日本における両社半導体関連製品の販売およびサービス事業を拡大することを目的として、合弁会社「安川ブルックスオートメーション株式会社(本社:横浜市、取締役社長:扇 博幸、以下安川ブルックス)」を設立、2006年9月21日を営業開始日とし、本格稼動を始めました。

微細化、高集積化が急速な勢いで進む半導体業界において、安川電機とブルックス社は、半導体 搬送ロボット関連事業を成長事業領域と位置付け、その事業拡大に取り組んでまいりました。今回の合弁会社の本格稼動により、両社製品の長所を生かした相互補完、効率的なリソース配分が実現し、コンポーネントからシステムまで、全般にわたる顧客対応力が一段と強化されました。
具体的には、産業用ロボットの世界的トップ企業でウェハ搬送クリーンロボットに強みを持つ安川電機と、真空中でのウェハ搬送ロボットの世界的メーカであるブルックス社の双方の優れた技術力、生産力、およびグローバルサービス網をベースに、安川ブルックスは半導体関連顧客に対して最適なオートメーション・ソリューションをスピーディに提供してまいります。これにより、顧客満足度向上とともに、安川電機、ブルックス社の半導体関連製品の売上拡大を図り、この事業をグローバル №1へと発展させてまいります。

〔安川ブルックスオートメーション株式会社の概要〕
 会 社 名: 安川ブルックスオートメーション株式会社
  (Yaskawa Brooks Automation,Inc.)
 本社所在地: 横浜市港北区新横浜2‐14‐2 ダヴィンチ新横浜214
 営業所・
 サービスセンタ:
山梨、名古屋、京都、熊本、大分
 代表取締役: 社 長 扇 博幸
  副社長 クッシュ・マーチャンダニ
 設   立: 2006年6月20日
 資 本 金: 4億5千万円
 株   主: 安川電機 50%、ブルックス社 50%
 従業員数: 40名
 事業内容: 半導体ウェハ搬送ロボット関連製品の販売・サービス
 主要製品: システム製品-EFEM,ロードポート、真空搬送システム、ソータ コンポーネント-プリアライナ、大気ロボット、真空ロボット
 売上目標: 2008年度 200億円(見込み)
 ホームページ: http://www.yaskawabrooks.co.jp
以 上

(ご参考)主要製品のご説明

EFEM・・・ Equipment Front End Moduleの略。ロードポート、ウェハ搬送機構、ウェハ搬送室から構成され、ロードポートに供給されたFOUP(Front Opening Unified Podの略、ウェハ収納用ポッド)からウェハを取り出しプロセス室側へ供給する装置。
12_1

 

 

ロードポート・・・ EFEM装置における工場内FOUP搬送装置との機械的インターフェース部分。
  工場内FOUP搬送装置とプロセス装置との間でFOUPの受け渡しを行う。
12_2

 

 

ソータ・・・ ウェハメーカから納入されたFOSB(Front Opening Shipping Boxの略。
  ウェハ収納ボックス)からウェハを取り出し、工場内搬送ポッド(FOUP)に移載する装置。
12_3

 

 

プリアライナ・・・ ウェハを所定の位置(回転方向角度あるいはX-Y方向)に補正する機構。
12_4

 

 

ウェハ真空搬送システム
12_5

 

ウェハ搬送真空ロボット
12_6

 

 

ウェハ搬送クリーンロボット
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ACサーボドライブ
12_8

 

 

リニアサーボドライブ
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[お問い合わせ先]
株式会社 安川電機
人事総務部
広報グループ長
赤木 博
Tel. (093)645-8810
Fax. (093)631-8837

 

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