新着情報

　株式会社安川電機（取締役社長利島康司）は、実績ある半導体ウエハ搬送システムの各構成製品をシリーズ化し、半導体製造装置の搬送システムにおいて高信頼性と開発時間の大幅短縮（半減）を可能にしたモジュラーシステム『SEMISTAR-M シリーズの供給を2006年12月1日から開始します。
なおモジュラーシステム構成例の展示・実演をセミコン・ジャパン2006^*1において当社子会社である安川ブルックスオートメーション㈱のブースにておこないます。

1． 製品化のねらい
　当社では、半導体ウエハ処理技術の微細化・高速化などの多様化する市場要求の進化に合わせて、顧客向けに特化した製品を中心にウエハ搬送ロボットシステムを提供し、1万台以上の納入実績で高いシェアを維持しています。そこで当社は、いままでの実績をベースに高い信頼性を確保したまま各モジュールの標準化とラインアップ化を行いました。顧客が必要なモジュールを選択してシステム構築を可能とすることで、ロボット搬送システムの開発時間を大幅に短縮（半減）できるモジュラーシステム『SEMISTAR-M シリーズ』を商品化しました。