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真空ロボット２機種を新規ラインアップＳＥＭＩＳＴＡＲ－Ｖシリーズ
－　可搬質量１０Ｋｇ～７５Ｋｇまでのシリーズ化を完成　－

新製品2009年11月19日

　株式会社安川電機（取締役社長　利島　康司）は有機ＥＬ・液晶用ガラス基板搬送市場をターゲットにした真空ロボット「ＳＥＭＩＳＴＡＲ－Ｖ」のシリーズ化を進めてきました。
　このたび新たに大型ガラス基板搬送に最適な２種類の真空ロボット　「ＳＥＭＩＳＴＡＲ－Ｖ３５Ｄ－Ｇ４」（可搬質量３５ｋｇ、Ｇ４サイズ（７３０ｍｍ×９２０ｍｍ）基板用）と「ＳＥＭＩＳＴＡＲ－Ｖ４０Ｄ－Ｇ６」（可搬質量４０ｋｇ、Ｇ６サイズ（１８５０ｍｍ×１５００ｍｍ）基板用）をラインアップに加え可搬質量１０ｋｇ～７５ｋｇまでのシリーズ化を完成させ市場対応力を強化しました。　（参考資料ご参照）　

１．製品化のねらい

　最近の有機ＥＬ基板業界では基板製造技術の進歩により基板の大型化が可能になりＧ４サイズガラス基板の装置開発が盛んになっています。またＧ６サイズガラス基板の装置開発も予想されています。「ＳＥＭＩＳＴＡＲ－Ｖ３５Ｄ－Ｇ４」、「ＳＥＭＩＳＴＡＲ－Ｖ４０Ｄ－Ｇ６」はこれに合せて開発した双腕形で、昇降軸付き４軸水平多関節構造を採用した真空ロボットです。各ガラス基板の大きさに適した広い動作範囲、高速動作性能を実現し、各種ガラス基板等を高真空中（１×１０-６Ｐａ）で高速搬送･移載することが可能です。更に双腕であることから基板処理室での処理前の基板と処理後の基板の入れ替えが同時に行えるので装置の効率的な運用を可能にします。
　先行して製品化した有機ＥＬの重いマスク＊１搬送を目的とした可搬質量が大きい「ＳＥＭＩＳＴＡＲ－Ｖ６５Ｓ」と「ＳＥＭＩＳＴＡＲ－Ｖ７５Ｄ」と併せて可搬質量１０ｋｇ～７５ｋｇまでのシリーズ化の完成により用途に合せた最適な真空ロボットが選択できます。また搬送質量や基板サイズに関わらず共通の操作性・メンテナンス性を提供することが可能になり生産設備の更新や維持を容易にします。将来的にはより大型のガラス基板にも対応できるロボットの開発も視野にいれています。

２．主な特長

２．１ＳＥＭＩＳＴＡＲ-Ｖ３５Ｄ－Ｇ４の特長
（１）高真空中で有機ＥＬ･液晶用などのガラス基板の搬送が可能
　平行リンク機構＊２等の適用による高剛性アームにより３５Ｋｇ/アームの可搬能力と繰り返し位置決め精度各軸±０．３ｍｍの性能を持ち、磁性流体シール＊３により高真空中での低発ガス性能＊４を実現しています。
　最大７３０×９２０ｍｍ（Ｇ４クラス）のガラス基板の搬送･移載等が可能です。

（２）長短２種類のストロークを用意
　使用状況によって最適なロボットを選択できるよう、前後方向ストロークの違う２機種（短ストローク仕様（２０５０ｍｍ）・長ストローク仕様（２３５７ｍｍ）を用意します。

２．２　ＳＥＭＩＳＴＡＲ-Ｖ４０Ｄ－Ｇ６の特長
（１）高真空中で有機ＥＬ･液晶などの大形ガラス基板の搬送が可能
　平行リンク機構＊２等の適用による高剛性アームにより４０Ｋｇ/アームの可搬能力と繰り返し位置決め精度各軸±０．５ｍｍの性能を持ち、磁性流体シール＊３により高真空中での低発ガス性能＊４を実現しています。
　最大１８５０×１５００ｍｍ（Ｇ６クラス）のガラス基板の搬送が可能です。

（２）分割可能なマニピュレータの採用
　可搬質量のアップにともないマニピュレータの全高が１５４０ｍｍとなり天井高さが低い生産ラインの場合、マニュピュレータ一体のままでは装置への組付けができない場合が想定されます。そこでマニュピュレータのアーム部と胴体部を分割可能な構造にしました。分割することによりクレーン等での吊り揚程･容量などが小さくて済むため、生産ラインの早期立ち上げが容易になります。

３．主な用途

大形有機ＥＬガラス基板や液晶基板製造などにおける真空中のガラス基板の搬送

４．販売計画

４．１　ＳＥＭＩＳＴＡＲ-Ｖ３５Ｄ－Ｇ４
（１）販売開始　　２００９年１１月２１日
（２）販売計画　　１００台／年
（３）販売価格　　短ストローク仕様：１７２７万円／セット（税込み）
　　　　　　　　　　長ストローク仕様：１７６２万円／セット（税込み）　
〔ロボット本体、ロボットコントローラ、プログラミングペンダント他〕

４．２　ＳＥＭＩＳＴＡＲ-Ｖ４０Ｄ－Ｇ６
（１）販売開始　　２００９年１１月２１日
（２）販売計画　　５０台／年
（３）販売価格　　３０２０万円／セット（税込み）　
〔ロボット本体、ロボットコントローラ、プログラミングペンダント他〕

[語句説明]
＊１：マスク
　　ガラス基板上に回路を生成するときに使用する「原版」のようなもの

＊２：平行リンク機構
前後に動作するアームを２重化しアームの剛性や精度をアップさせる構造