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ダイレクトドライブ駆動方式を採用した高精度・低振動な新型半導体ウエハ搬送用クリーンロボット「SEMISTAR-GEKKO MD124D」とクリーンロボット用標準コントローラ「SR200」を販売開始
－半導体ウエハの生産性向上や低ダメージ搬送に貢献－

新製品2020年5月28日

　株式会社安川電機（本社：福岡県北九州市、代表取締役社長：小笠原 浩）は、半導体ウエハ搬送用クリーンロボットの新たなラインアップとして、当社のACサーボモータ「Σ-7シリーズ」のダイレクトドライブモータを採用したクリーンロボット「SEMISTAR－GEKKO MD124D」を販売開始します。 　

　これにより、従来機種より高精度（位置決め精度 従来比2倍）・低振動（従来機種比1/6）な半導体ウエハ搬送を実現します。併せて、小型・軽量化し駆動能力や拡張性を高めたクリーンロボット用標準コントローラSR200も開発しました。SR200は当社クリーンロボット全般に適用し、クリーンロボットのパフォーマンスを最大限に引き出します。

  • https://www.yaskawa.co.jp/wp-content/uploads/2020/05/SEMISTAR-GEKKO-MD124D_SR200.jpg

１．製品化のねらい

　近年のスマートフォンの製品仕様の進化、IoTの発展に伴うデータセンターの高度化や通信仕様の５G化など技術進化は目覚ましく、これらの技術を支える大きな要素が半導体です。半導体の技術革新は、製造プロセスにおけるnm（ナノメートル）レベルの微細化技術や多層化技術により成り立っており、この進化に貢献するウエハ搬送用のクリーンロボットが求められています。

　例えば、指定する位置に高精度でウエハを運びたい、ウエハにストレスをかけずに今までと同じ搬送枚数を安全に搬送したい、多数のウエハを収納するために狭いピッチの場所にもウエハを搬送したい、などの要望があります。こういったお客さまからのご要望に応えるために、より高精度で低振動なクリーンロボットを開発しました。

２．主な特長

　従来機種（SEMISTAR-MR124）と比較して、ロボットの取付け・搬送装置レイアウトの完全互換性を実現（ロボット本体の形状を維持）、絶対位置精度（0.05mm＊1）や繰返し位置決め精度（±0.025mm＊1）は2倍に向上し、搬送時のハンド振動（0.25G＊1、1G=9.8m/s2）も大幅に低減しています。この性能を実現するために、ロボットのアームに減速機を必要としない当社のACサーボモータ「Σ-7シリーズ」のダイレクトドライブ（DD）モータを搭載した駆動方式としています。

　併せて販売するクリーンロボット用の標準コントローラ「SR200」は、当社の標準電機品であるマシンコントローラ（MP）を採用し、従来機種比体積42%、質量35%減ながらSEMI規格など主要規格に適合した拡張性を持たせたコントローラです。

　これら製品設計の向上に加えアフターサービスの品質改善も実施しています。例えば、ロボットからバッテリーを排除し、バッテリー交換をなくしました。また、お客さまが必要な情報を取得しやすいような工夫を施し、プロセスの分析や生産性の改善につなげることができます。ロボットとコントローラともに調達部品を見直すことで生産継続などサスティナビィリティーを意識した製品です。

*1：当社測定条件による結果の一例

３.　定格・仕様

「SEMISTAR-GEKKO MD124D」

項目 仕様
適用ウエハサイズ 300 mm （SEMI 規格準拠品）
ウエハ把持方式 パッシブグリップ（真空吸着グリップ，エッジグリップも対応可能）
標準エンドエフェクタ長 345 mm
駆動軸数 5 軸
アームタイプ 単腕
動作範囲 EX 軸（伸縮） 1215 mm*4
TH 軸（旋回） 330°
Z 軸（昇降） 480 mm
H 軸（回転） 440°
最小回転半径 510 mm
繰返し位置決め精度*2 0.05 mm（P-P）
本体質量 86 kg
クリーン度*3 ISO クラス 1
MCBF（SEMI F10 準拠） 1500 万サイクル以上

*2： JIS B 8432 ポーズ繰返し精度に準拠しています。

*3： 0.3 m/s のダウンフロー環境下、当社推奨の設置条件によります。

*4： マニピュレータ旋回中心位置 ～ ウエハ中心位置
　　（当社標準 300 mm 対応エンドエフェクタ使用時）

 

 

「SR200」

項目 仕様
外形寸法 425（幅）× 300（奥行き）× 133（高さ）mm （突起部含まず）
概略質量 13 kg 以下
電源仕様 三相 AC200V ～ 240V （+10% ～ −15%） 50 / 60Hz
単相 AC200V ～ 240V （+10% ～ −15%） 50 / 60Hz
通信（上位接続） Ethernet （10BASE-T / 100BASE-TX） 2 ポート
オプション基板対応 2 スロット
制御軸数 最大 8 軸
規格対応 SEMI S2，S8, F47 規格準拠
UL61010-1 規格準拠
ISO 13849-1, Category 3 （PL=d） 準拠　など

４．主な用途

　半導体製造装置内でのウエハなどの搬送

５．販売計画

（１）販売開始：2020年5月

（２）販売価格：オープン価格

 

【問い合わせ先】

株式会社安川電機

ロボット事業部クリーンロボット技術部

小宮路　修

TEL:093-645-7717　FAX:093-645-7736

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